水蒸気バリア性能の評価方法

開放特許情報番号
L2010005573
開放特許情報登録日
2010/9/24
最新更新日
2011/12/22

基本情報

出願番号 特願2010-116925
出願日 2010/5/21
出願人 国立大学法人信州大学
公開番号 特開2011-242354
公開日 2011/12/1
発明の名称 水蒸気バリア性能の評価方法
技術分野 情報・通信、電気・電子、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、安全・福祉対策
適用製品 バリアフィルム自体、あるいはバリアフィルムを用いて封止して形成される電子デバイス、樹脂封止型の電子デバイスにおける封止樹脂の水蒸気バリア性能の評価、バリアフィルムの開発及び、薄膜太陽電池、有機EL素子等の電子デバイスの開発に利用可能
目的 この発明は、電気容量型の水分センサを用いてバリアフィルムあるいは電子デバイスの水蒸気バリア性能を評価する方法を提供する。
効果 この発明の水蒸気バリア性能の評価方法によれば、バリアフィルムあるいは封止用の樹脂等によって封止された電子デバイスについて、的確にバリア性能を評価することができ、バリアフィルムあるいは電子デバイスの開発に有効に利用することができる。
技術概要
電子デバイスの長寿命化には、電極や半導体の劣化に水が影響することから、バリアフィルムの水蒸気バリア性能が問題とされる。特に、液晶ディスプレイや薄膜太陽電池、有機EL素子等に用いられるバリアフィルムは、きわめて微量の水蒸気の透過を問題とするため、水分センサを用いる水蒸気バリア性能を評価する際には、微量なガスを高感度に検知できることに加えて、測定レンジが広いこと、応答動作が速く安定動作することが求められる。この発明の水蒸気バリア性能の評価装置は、基材上に、感湿膜を厚さ方向に挟む配置に第1の電極層と第2の電極層とが設けられた電気容量型の水分センサを形成させ、ここに基材の水分センサが形成された側の、水分センサの外面を、バリアフィルムにより被覆し、バリアフィルムを乾燥させた状態を初期状態とし、バリアフィルムの外面を外気に曝した時点からの水分センサの電気容量値の時間変化を測定する工程とを備えるもので、電気容量値の時間変化から得られる、バリアフィルムの水分センサとの界面近傍における相対水分濃度βの時間変化に基いてバリアフィルムのバリア特性を評価するものである。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社信州TLO

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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