光学的角度・変位測定方法及び測定装置

開放特許情報番号
L2010005552
開放特許情報登録日
2010/9/24
最新更新日
2012/9/25

基本情報

出願番号 特願2006-223230
出願日 2006/8/18
出願人 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-046037
公開日 2008/2/28
発明の名称 光学的角度・変位測定方法及び測定装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 オートコリメータ
目的 必要とするスペースが小さく且つ高い感度を実現し得る物体の角度変化の光学的測定方法及び測定装置、並びに物体の変位の光学的測定方法及び測定装置の提供。
効果 本技術によれば、画像センサ上に格子状パターンを形成するので、多数の格子点について移動量の検出を行なうことができ、それらを角度変化の算出に用いることにより、誤差を減少させることができる。
技術概要
この技術では、被検査物体に光を照射し、その鏡面反射光を多数の受光素子を配列した画像センサで受光するにあたり、透過光量変化又は位相変化を生じさせる領域又はこれらの組合せ領域を受光素子配列方向において受光素子の配列ピッチより大きいピッチで配置した格子を画像センサの前方で画像センサの検出面に平行に配置し、格子による遮蔽、回折又は干渉によって画像センサ上に格子状パターンを形成し、パターン上の複数の点について被検査物体の角度変化の前後における移動量を画像センサによって検出し、検出値を式θ=u/(2t)に適用して最小二乗法により角度変化を求める。ここで、t:格子から画像センサまでの距離、u:画像センサの検出面での格子状パターン上の点の移動量、θ:被検査物体の角度変化である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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