ナノスケールの熱センサ及び加熱プローブ

開放特許情報番号
L2010005463
開放特許情報登録日
2010/9/24
最新更新日
2010/9/24

基本情報

出願番号 特願2006-035201
出願日 2006/2/13
出願人 国立大学法人九州大学
公開番号 特開2007-212390
公開日 2007/8/23
発明の名称 ナノスケールの熱センサ及び加熱プローブ
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出、加熱・冷却
適用製品 加熱プローブ、熱センサ
目的 試料に対して定量的な加熱をすることができるナノスケールの加熱プローブの提供。
効果 ヒーターに接合したナノ探針を用いて、探針に通電することなく試料に対する加熱が定量的に行えると同時に、試料の温度や熱伝導度の計測もできるため、細胞内部や水中等の電気伝導性環境での加熱試験及び温度計測が可能となる。また、AFM走査機構と組み合わせて、材料表面をナノメートルオーダーで加熱を制御することによる微細加工が可能となる。
技術概要
この技術では、加熱プローブは、基板上に細長い細線部と細線部の両端に通電用端子部と電圧計測用端子部が構成された金属薄膜と、微小ヒーターとなる細線部の中央部分に突出させて接合したナノ探針からなる。また、熱センサは、この加熱プローブで、微小ヒーターへの通電によりナノ探針を加熱した状態に保ち、試料の熱情報を微小ヒーターの抵抗値変化に伴う電圧変化から測定するものとする。この熱センサにおいて、熱物性値の測定対象とするナノチューブを探針として接合し、微小ヒーターへの通電により加熱した状態で、予め熱情報が特定されている試料の測定を行い、微小ヒーターの抵抗値変化に伴う電圧変化から、同ナノチューブの熱物性値を測定する。また、加熱プローブ装置は、試料表面を走査するAFM用カンチレバー先端に設置され、カンチレバー上の電極膜と接続された加熱プローブ装置であり、熱センサ装置は、試料表面を走査するAFM用カンチレバー先端に設置され、カンチレバー上の電極膜と接続された熱センサ装置とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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