微小構造体及び微細パターンの形成方法

開放特許情報番号
L2010005432
開放特許情報登録日
2010/9/17
最新更新日
2012/2/17

基本情報

出願番号 特願2010-148515
出願日 2010/6/30
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2012-011478
公開日 2012/1/19
発明の名称 微小構造体及び微細パターンの形成方法
技術分野 機械・加工
機能 材料・素材の製造
適用製品 周期的液体パターン、蒸着物質、蒸着膜を転写
目的 ボトムアップ手法として使える自己組織化現象の一つとして知られ、例えば表面の座屈に基づいて発生される周期的微細凹凸構造を利用することで、様々な物質を簡便にパターン化することにより、広範な課題に一定の解決案を提示することである。これにより、従来の手法より簡便に同様なパターン作製を可能とし、また将来において従来法と組み合わせることで現在の作製コストを低減することが見込まれる微小構造体及び微細パターンの形成方法の提供。
効果 基板等の支持体表面上には液体部分(窪部)と固体部分(突部)が共存し、その周期性、サイズは元になる自己組織化凹凸構造を制御することでサブミクロン以上のスケールで簡単に変えることができる。この液体パターンの存在する基板に対して既存の簡単な表面処理(蒸着操作)を行うことで、この液体パターンの周期性、サイズを有する別の物質(蒸着物質)の微細パターンを作製することができる。
技術概要
本技術は、微細凹凸構造、特にサイン波状、ストライプ状などの周期的な自己組織化凹凸構造における窪部にのみ液体が満たされた微細液体パターンを用いることで、凹凸構造の突部に蒸着膜を形成できることを見出した。また、蒸着物質として液体に実質的に不溶な物質を用いることで、液体の表面に蒸着膜が形成され、これを基板等の別の支持体に転写することで、液体パターンに対応した微細パターンを有する微小構造体が得られることを見出した。具体的には、次の通りである。複数の突部と複数の窪部から構成される微細凹凸構造を有する微小構造体であって、突部の表面に蒸着部を形成してなる、微小構造体。微細凹凸構造が周期的微細凹凸構造である微小構造体。粒状の蒸着物質を含む周期的パターンを支持体上に形成してなる微小構造体。複数の突部と複数の窪部から構成される微細凹凸構造を有する微小構造体の突部の表面に蒸着部を形成する方法であって、窪部に液体を満たした状態で突部に蒸着部を形成し、液体を除去することを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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