磁場印加式単結晶製造装置

開放特許情報番号
L2010005167
開放特許情報登録日
2010/9/3
最新更新日
2010/9/3

基本情報

出願番号 特願2002-276608
出願日 2002/9/24
出願人 国立大学法人山梨大学
公開番号 特開2004-115281
公開日 2004/4/15
登録番号 特許第4406727号
特許権者 国立大学法人山梨大学
発明の名称 磁場印加式単結晶製造装置
技術分野 機械・加工、無機材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 光学材料、超伝導体、強誘電体、半導体
目的 回転楕円面鏡の集光する焦点位置を放物面鏡の焦点位置と一致させることにより回転楕円面鏡の焦点位置のランプから放射された光が放物面鏡に反射されて、より指向性の高い平行光が得られる、磁場印加式フローティング・ゾーン単結晶育成装置の提供。
効果 この技術によれば、キセノンランプやハロゲンランプ等の加熱光源から放射された赤外線を輪状の平行光にした後、電磁石のボア内の結晶育成軸の外周に沿ってその輪状の平行光を導入し、ボア内の放物面鏡で集光することにより、溶融帯の全周を均一に加熱することができる。ここで、加熱光源からの放射状に発せられた赤外線を平行光に変えているので、加熱光源を電磁石から遠ざけても集光効率は下がらず、強磁場下で安定した単結晶育成ができ、溶融→凝固における新規磁場効果を調べることができる。
技術概要
この技術の磁場印加式単結晶製造装置は、鉛直方向に設置された透明石英管内で加熱溶融するフローティング・ゾーン方式の単結晶製造装置であって、フローティング・ゾーンの周囲に配置した磁気印加手段の漏れ磁場から影響を受けない位置に配置した赤外線の光源と、赤外線の光源の周囲に配置した回転楕円面鏡と、回転楕円面鏡からの反射光を平行光とする放物面鏡と、これを透明石英管に向けて導光する円筒面鏡とを備えることにより、赤外線からなる光を指向性を持たせて平行光とする第1の光学系と、その平行光を透明石英管に沿う中空円筒状の光として反射させ、反射した中空円筒状の光をフローティング・ゾーンの周囲から照射する第2の光学系と、フローティング・ゾーンの周囲に配置した磁気印加手段と、を備えている。更に、駆動系として下回転軸と石英管支持管を横方向にスライドさせる下回転軸移動機構を備え、下回転軸移動機構とともに石英管支持管を横にスライドさせ、透明石英管をフローティング・ゾーンに挿入してから石英管支持管を元の位置にもどし、透明石英管を石英管支持管に載せて固定している。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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