走査型プローブ顕微鏡およびアクティブダンピング駆動制御装置

開放特許情報番号
L2010004954
開放特許情報登録日
2010/8/27
最新更新日
2012/7/30

基本情報

出願番号 特願2008-533069
出願日 2007/7/27
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 WO2008/029561
公開日 2008/3/13
登録番号 特許第4931088号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡およびアクティブダンピング駆動制御装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 走査型プローブ顕微鏡
目的 駆動制御の制御対象の振動を効果的に低減できる走査型プローブ顕微鏡(SPM)の提供を目的とする。 また、制御対象に対してアクティブダンピングを効果的に行えるアクティブダンピング駆動制御技術を提供することにある。
効果 調整関数の処理を経た駆動信号が制御対象に供給することにより、駆動制御の制御対象の振動を効果的に低減できる。また、調整関数を用いることで、制御対象に対してアクティブダンピングを効果的に行うことができる。
技術概要
Z走査制御部が駆動制御部として機能し、制御対象であるZスキャナを制御する。 駆動制御は、調整関数の処理を経た駆動信号を制御対象に供給することにより行われ、調整関数は、制御対象に対応する模擬伝達関数を利用し、調整後の駆動信号に模擬伝達関数の処理を施すと模擬伝達関数の出力信号の振動が低減するように駆動信号を調整する。 調整関数処理の構成は、模擬伝達関数G(s)の処理を駆動信号に施し、目標伝達関数の逆数に相当する逆目標伝達関数K(s)の処理をG(s)の出力に施し、駆動信号とK(s)の出力の差分を求め、その差分にゲインgを付与し、ゲイン付与後の信号を駆動信号に加算する。 これにより、G(s)の出力が、K(s)の逆数である目標伝達関数に近似する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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