走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2010004950
開放特許情報登録日
2010/8/27
最新更新日
2013/7/19

基本情報

出願番号 特願2008-275981
出願日 2008/10/27
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2010-101857
公開日 2010/5/6
登録番号 特許第5277378号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡
技術分野 食品・バイオ、有機材料、電気・電子
機能 検査・検出、機械・部品の製造、その他
適用製品 走査型顕微鏡
目的 この発明は、カンチレバーのQ値に拘わらず、探針が試料に接触しなくても試料表面を観察することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
効果 この発明の装置によれば、走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバーのQ値に拘わらず、探針が試料に接触しなくても試料表面を観察することができる。
技術概要
走査型プローブ顕微鏡(SPM)の一つである、原子間力顕微鏡(AFM)は、カンチレバー探針と試料との相互作用で生ずるカンチレバーの力学的振舞いを計測し、その計測に基づいて試料の形状や物性マップを得ることができる。しかし、従来の非接触式のAFMは、真空中以外ではQ値も低く、また生物試料を観察することは難しかった。この発明は、カンチレバーのQ値にかかわらず、非難接触式で計測できる走査型プローブ顕微鏡である。試料に対して試料側周波数f1の超音波が発射され、カンチレバーにレバー側周波数f2の超音波が発射される。抽出部は、カンチレバーの振動信号から、非接触状態にある探針及び試料間の距離に応じて変化する特定周波数成分を抽出する。特定周波数成分は、例えば試料側周波数f1及びレバー側周波数f2の差の絶対値の周波数成分であり、或いは、試料側周波数f1の成分である。振幅検出部が特定周波数成分の振幅を検出する。フィードバック制御部は、特定周波数成分の振幅を用いてスキャナのフィードバック制御を行う。フィードバック制御の目標値は、カンチレバーと試料が非接触状態で近接しているときの特定周波数成分の振幅に設定されている。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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