走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2010004934
開放特許情報登録日
2010/8/27
最新更新日
2016/6/21

基本情報

出願番号 特願2007-551042
出願日 2006/12/12
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 WO2007/072706
公開日 2007/6/28
登録番号 特許第5252389号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 原子力間顕微鏡
目的 カンチレバー振動の位相検出を高速化できる原子力間顕微鏡を提供する。
効果 位相が固定された基準波信号と、カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号とを用いることによって、高速な位相検出が可能になる。
技術概要
カンチレバーが励振され、カンチレバーと試料が相対的に走査される。カンチレバーの変位がセンサにより検出される。 発振器は、カンチレバーの励振信号を生成すると共に、励振信号に応じた周波数を有しており位相が固定された基準波信号を生成する。 トリガパルス生成回路は、カンチレバーの変位に基づき、カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成する。 位相信号生成回路は、基準波信号とトリガパルス信号に基づき、パルス位置における基準波信号の大きさに応じた信号を、カンチレバーの振動の位相信号として生成する。 基準波信号としてはノコギリ波が使用される。 位相信号生成回路はサンプルホールド回路で構成される。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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