走査型プローブ顕微鏡およびカンチレバー駆動装置

開放特許情報番号
L2010004932
開放特許情報登録日
2010/8/27
最新更新日
2013/2/20

基本情報

出願番号 特願2007-518942
出願日 2006/5/26
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 WO2006/129561
公開日 2006/12/7
登録番号 特許第5164147号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡およびカンチレバー駆動装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 走査型プローブ顕微鏡
目的 走査速度を向上できる走査型プローブ顕微鏡の提供を目的とする。
効果 カンチレバーに光が照射されて、熱膨張変形によってカンチレバーが変位する。この変位を利用してZ方向の走査が行われる。カンチレバーは非常に小さく、高い共振周波数を持つ。したがって、Z走査の構成の共振周波数が高くなり、走査速度を増大できる。また、従来の自己アクチュエーションタイプのカンチレバーに見られるようにカンチレバーが硬くなるのを回避することができる。
技術概要
駆動レーザユニットは、カンチレバーにレーザ光を照射して熱膨張変形を生じさせる。 駆動レーザ制御部は、センサにより検出されたカンチレバーの変位に基づき、レーザ光の強度を制御することによってカンチレバーのフィードバック制御を行う。 熱応答補償回路は、カンチレバーの熱伝達関数の逆伝達関数に等価な構成を有しており、光照射に対するカンチレバーの熱応答の遅れを補償する。さらに、レーザ光強度の制御によってカンチレバーが励振されてよい。光強度の制御によって、レバー共振系のQ値も制御される。原子間力顕微鏡の走査速度を増大することができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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