出願番号 |
特願2007-518942 |
出願日 |
2006/5/26 |
出願人 |
国立大学法人金沢大学 |
公開番号 |
WO2006/129561 |
公開日 |
2006/12/7 |
登録番号 |
特許第5164147号 |
特許権者 |
国立大学法人金沢大学 |
発明の名称 |
走査型プローブ顕微鏡およびカンチレバー駆動装置 |
技術分野 |
電気・電子、情報・通信 |
機能 |
制御・ソフトウェア、検査・検出 |
適用製品 |
走査型プローブ顕微鏡 |
目的 |
走査速度を向上できる走査型プローブ顕微鏡の提供を目的とする。 |
効果 |
カンチレバーに光が照射されて、熱膨張変形によってカンチレバーが変位する。この変位を利用してZ方向の走査が行われる。カンチレバーは非常に小さく、高い共振周波数を持つ。したがって、Z走査の構成の共振周波数が高くなり、走査速度を増大できる。また、従来の自己アクチュエーションタイプのカンチレバーに見られるようにカンチレバーが硬くなるのを回避することができる。 |
技術概要
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駆動レーザユニットは、カンチレバーにレーザ光を照射して熱膨張変形を生じさせる。 駆動レーザ制御部は、センサにより検出されたカンチレバーの変位に基づき、レーザ光の強度を制御することによってカンチレバーのフィードバック制御を行う。 熱応答補償回路は、カンチレバーの熱伝達関数の逆伝達関数に等価な構成を有しており、光照射に対するカンチレバーの熱応答の遅れを補償する。さらに、レーザ光強度の制御によってカンチレバーが励振されてよい。光強度の制御によって、レバー共振系のQ値も制御される。原子間力顕微鏡の走査速度を増大することができる。 |
イメージ図 |
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実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【有】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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