全反射蛍光X線分析装置及び全反射蛍光X線分析方法

開放特許情報番号
L2010004491
開放特許情報登録日
2010/8/13
最新更新日
2016/1/25

基本情報

出願番号 特願2010-527698
出願日 2009/9/2
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 WO2010/026750
公開日 2010/3/11
登録番号 特許第5846469号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 全反射蛍光X線分析装置及び全反射蛍光X線分析方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 全反射蛍光X線分析装置
目的 小型化及び軽量化を図ることができる高感度な全反射蛍光X線分析装置及び全反射蛍光X線分析方法を提供する。
効果 X線源から放射されるX線を単色化することなくそのまま試料を照射するため、全反射蛍光X線分析装置の小型化を図ることができる。また、X線源から放射されるX線を単色化しないため、小型の低電力のX線源を用いることができる。従って、遮蔽部材を軽量にしたり不要にしたりすることができ、全反射蛍光X線分析装置の軽量化を図ることができる。
技術概要
全反射蛍光X線分析装置は、試料台に水溶液試料を滴下し乾燥させ、試料台上に残った残渣に1次X線を照射することにより水溶液試料中の微量な元素分析を行うものであって、1次X線を照射するX線照射部と、X線照射部のX線照射により発生する蛍光X線を検出するX線検出部とを備え、X線照射部が微弱な非単色化X線を照射する。「微弱な非単色化X線」とは、例えば5W以下のX線管から照射される非単色化X線をいう。この蛍光X線分析装置10は、制御部11とX線照射部13と、検出部14を備えている。制御部11は、操作部12からの操作信号を受けてX線照射部13及び検出部14を制御する。X線照射部13は駆動回路131とX線管132から成り、駆動回路131によって駆動されたX線管132はX線を放射する。X線管132から放射されたX線は導波路15を通り試料台載置部16に着脱可能に装着された試料台17に入射する。検出部14はX線検出器141とX線検出器141の検出信号を増幅する増幅器142から成る。試料台17には1次X線として非単色化X線が照射されるように構成されている。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 X線をモノクロ化するための構成が不要であるとともに、小型の低電力のX線源を用いることができるので、このように携行可能な蛍光X線分析装置を実現することもできる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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