粒子数濃度標準液の製造法

開放特許情報番号
L2010004085
開放特許情報登録日
2010/7/16
最新更新日
2015/9/30

基本情報

出願番号 特願2010-065665
出願日 2010/3/23
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-196902
公開日 2011/10/6
登録番号 特許第5371014号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 粒子数濃度標準液の製造法
技術分野 電気・電子、化学・薬品、その他
機能 材料・素材の製造、検査・検出、その他
適用製品 半導体製造プロセスにおける品質管理等、粒子数濃度標準液の製造法
目的 この発明は、半導体製造プロセスにおける品質管理等に使用される、液中に浮遊する汚染粒子の個数濃度を測定する液中パーティクルカウンタの校正に使用するための粒子数濃度標準液の製造法に関し、気中パーティクルカウンターを用いた粒径100nm以下の特定の粒径の粒子数濃度標準液の製造法の提供を目的とする。
効果 非水溶性の単分散のエアロゾル粒子を発生させてエアロゾル流とし、エアロゾル流中のエアロゾル粒子を気中パーティカルカウンタで個数を測定するから、粒径100nm以下の粒子であっても正確に測定することができ、そのため、正確な粒子数濃度標準液を得ることができる。
技術概要
粒径100nm以下の特定の粒径の非水溶性の単分散エアロゾル粒子を生成してエアロゾル流を形成し、エアロゾル流を等分に2つに分岐させる。 等分に2つに分岐した一方のエアロゾル流を気中パーティクルカウンタに導き、気中パーティクルカウンタでエアロゾル流中のエアロゾル粒子の粒子数濃度を測定する。 等分に2つに分岐した他方のエアロゾル流を水蒸気凝縮手段に導き、水蒸気凝縮手段でエアロゾル粒子に水蒸気を凝縮させて粒径10μm以上の大きな液滴に成長させ、成長した液滴を、容器中の純水の液面に慣性沈着させて捕集する。 捕集終了後に容器中の液体の体積Vを測定し、一方のエアロゾル流中のエアロゾル粒子の粒子数濃度が、他方のエアロゾル中のエアロゾル粒子の粒子数濃度に等しいものとして、一定時間内に容器に収容した純粋に捕集された全粒子数Nを算出し、全粒子数Nを体積Vで除することにより液中粒子数濃度n↓p=N/Vを求める。 捕集終了後の容器中の液体を特定粒径の液中粒子数濃度がn↓pである粒子数濃度標準液とする。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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