| 出願番号 |
特願2010-053333 |
| 出願日 |
2010/3/10 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2011-185852 |
| 公開日 |
2011/9/22 |
| 登録番号 |
特許第5414058号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
熱拡散率測定装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
周期加熱放射測温法、熱拡散率測定装置 |
| 目的 |
加熱レーザビームの照射形状をスポット形状、ライン形状、円形状に任意に変換可能とすることによって、試料の形状や熱拡散率の測定の方向に合わせた最適な加熱手段の提供。 |
| 効果 |
本技術によれば、従来の測定装置では横方向の測定や厚さ方向の測定または試料の部分的な測定などに機能が特化していたものをひとつの装置で実現することができる。また光学系の交換に際しては、それ以外の装置構成には一切干渉せずに実現できるので時間的にも費用的にもコストの大幅な低減を実現可能である。 |
技術概要
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この技術では、試料にレーザビームを周波数で周期的に照射するための加熱レーザビーム照射手段と、試料のある一点から放射される赤外光を集光するための赤外光集光手段とが、試料を挟みそれぞれ対向する位置に配置された周期加熱放射測温法熱物性測定装置において、加熱レーザビーム照射手段が、試料面における照射形状を任意の形状に変換制御するための光学系を備えており、赤外光集光手段をＸＹ方向に移動させるための移動手段を備え、赤外光集光手段により集光された赤外光を放射温度計まで導く赤外用ファイバを備え、放射温度計の温度変化の周期と加熱レーザビームの周期との位相差と周波数から熱拡散率を演算する制御手段を備える。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)