赤外光用の光学結晶レンズの製造方法

開放特許情報番号
L2010003886
開放特許情報登録日
2010/7/16
最新更新日
2010/7/16

基本情報

出願番号 特願2008-225655
出願日 2008/9/3
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2010-060779
公開日 2010/3/18
発明の名称 赤外光用の光学結晶レンズの製造方法
技術分野 情報・通信、電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、加熱・冷却、加圧・減圧
適用製品 光学レンズ
目的 この発明は、安価な高温加圧加工法を用いて、赤外用光学素子に用いる高精度の結晶レンズを、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム結晶ウェハーを用いて簡便に、安価に製造することができる赤外光用の光学結晶レンズの製造方法を提供する。
効果 この発明の装置によれば、安価な高温加圧加工法を用いて、赤外用光学素子に用いる結晶レンズを、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム結晶ウェハーを用いて簡便に作製できるため、高精度の結晶レンズを安価に実現できる。しかも、実用的な高温加圧加工法をベースにしているため、事業化も容易であるという効果が得られる。
技術概要
赤外線は、大気、生体、結晶材料、熱に対して感度を持つため、きわめて多種多様の用途に使用されている。従来、これらの用途に対する光学素子として、バルクのシリコンやゲルマニウム等をNC旋盤加工や研磨加工によって製造されていたため高価なことが欠点とされていた。 この発明は、シリコン、ゲルマニウムまたはシリコンゲルマニウムの半導体結晶ウェハーを、任意の塑性変形を可能とする温度範囲内で高温加圧加工法により湾曲加工を施して赤外光用の光学結晶レンズとするものである。具体的には、例えば、直径30mm、暑さ0.93mmのシリコンウエハーの周辺部を事前に機械加工で研削しておき、その後高温加圧加工法によって曲率半径が121mm、焦点距離50mmの赤外用レンズを得ることができる。この時、使用する材料をゲルマニウムとすると、同一加工を施してもシリコンとゲルマニウムの屈折率の違いにより、同じ焦点距離であっても加工の際の曲率半径が異なってくる。また、バルク結晶の加工部位を変えることによって、両凸型レンズ、平凸型レンズ、収束メニスカスレンズ等を形成することができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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