角度センサ

開放特許情報番号
L2010003884
開放特許情報登録日
2010/7/16
最新更新日
2013/9/26

基本情報

出願番号 特願2008-270404
出願日 2008/10/21
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2010-101622
公開日 2010/5/6
登録番号 特許第5322099号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 角度センサ
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 角度センサ
目的 この発明は、精密工学分野において測定対象物の微小角度変位量計測等に用いる角度センサに関し、X軸、Y軸及びZ軸回りの微小角度変位量の測定が可能な多自由度軸角度センサの提供を目的とする。
効果 X軸、Y軸及びZ軸回りの微小角度変位量の測定が可能となる。
技術概要
光検出素子が、1対の非分割型の単素子PD(フォトダイオード)3a,3bを有している。一方の単素子PD3bは、その受光面の一部に光スポット3bsが入射するように、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源2からの一方の光ビームにより定義される光軸9bから、PD受光面の長さ以下のオフセット量を与えて配置されている。他方の単素子PD3aは、位置の変化による光強度変化量の検出用として光スポット3asの大きさよりも十分に大きな素子サイズを有している。単素子PD3aは、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源2からの他方の光ビームにより規定される光軸9aに沿って配置されている。単素子PD3aは、光強度変化の正規化のための光量モニタリング用として設けられている。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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