テラヘルツ測定装置、時間波形取得法、テラヘルツ測定法及び検査装置

開放特許情報番号
L2010003428
開放特許情報登録日
2010/6/4
最新更新日
2017/3/22

基本情報

出願番号 特願2008-165659
出願日 2008/6/25
出願人 独立行政法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2010-008139
公開日 2010/1/14
登録番号 特許第5213167号
特許権者 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
発明の名称 テラヘルツ測定装置、時間波形取得法及び検査装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 テラヘルツ測定装置、及び検査装置
目的 測定周波数帯域の広帯域化と周波数分解能の高分解能化とを実現し、信頼性の高いテラヘルツ測定装置等を提供する。
効果 測定周波数帯域の広帯域化と周波数分解能の高分解能化とを実現し、信頼性の高いテラヘルツ測定装置等を提供できる。
技術概要
図1は、テラヘルツ測定装置としてのテラヘルツ(THz)波スペクトル測定装置1の構成図である。THz波スペクトル測定装置1は、フェムト秒レーザーをポンプ光とプローブ光とに分岐するビームスプリッタ11と、ポンプ光を受けてTHz波を発生させるTHz波発生源12と、プローブ光をチャープパルスに変換するチャープ発生光学器22と、チャープパルスを2つに分岐するビームスプリッタ31と、分岐された一方の参照光を検出する参照光検出手段と、他方をTHz波の電気光学効果にて変調する電気光学結晶43と、電気光学結晶43から出力された信号光を検出する信号光検出手段と、同時に検出された参照光と信号光とに基づいてTHz波の時間波形を取得する演算回路50とを有する。図2は他の例のTHz波スペクトル測定装置100の構成図である。図3の検査装置99は、THz波スペクトル測定装置1と、測定対象物が入った容器97を所定の速度で搬送する搬送手段としてのベルトコンベア98と、様々な物質のTHz領域におけるTHzスペクトルを記憶するデータベース96とを有して構成される。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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