電子顕微鏡用試料ホルダ。

開放特許情報番号
L2010003358
開放特許情報登録日
2010/5/28
最新更新日
2015/11/12

基本情報

出願番号 特願2008-226466
出願日 2008/9/3
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2010-061990
公開日 2010/3/18
登録番号 特許第5437612号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 電子顕微鏡用試料ホルダ
技術分野 電気・電子、機械・加工、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、その他
適用製品 電子顕微鏡
目的 この発明は、電子顕微鏡用試料ホルダに関するもので、特に、試料を配置する試料室にガスを導入することが可能な電子顕微鏡用試料ホルダを提供する。
効果 この発明の装置によれば、導入管および排出管の断面を大きくできる、このことによって、ガスの導入排出のためのコンダクタンスを大きくした電子顕微鏡用試料ホルダを提供することができる。
技術概要
電子顕微鏡は、真空中に配置された試料を電子線を用いて観察する場合が多い。しかし、試料をガスに暴露させながら観察することが必要な場合、従来型の試料ホルダでは顕微鏡部分の真空を維持する必要性から、ガス導入管及びガス排出管を太くすることができず、ガスの導入排出のコンダクタンスが大きく、ガス流量を確保することが困難であった。この発明の試料ホルダは、電子線を照射する試料を配置する試料室と試料室にガスを導入するための導入管と試料からガスを排出するための排出管とのいずれか一方が、導入管と排出管との他方を囲むように設けられたガス導排管と、を具備する電子顕微鏡試料ホルダである。この発明によれば、電子顕微鏡用試料ホルダのガス導入管およびガス排出管の断面を大きくできるため、ガスの導入排出のためのコンダクタンスを大きくできる。このため、多量のガス導入を必要とする試料についても観察可能な電子顕微鏡装置を提供することができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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