電子デバイス

開放特許情報番号
L2010003300
開放特許情報登録日
2010/5/28
最新更新日
2015/9/30

基本情報

出願番号 特願2010-043640
出願日 2010/2/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-181294
公開日 2011/9/15
登録番号 特許第5366093号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 電子デバイス
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 サージ防護素子、電界放出ディスプレイ(FED)、エネルギー回収型加速器(ERL)、人工衛星等の電子源および帯電防止機構、医療用X線発生装置
目的 低閾値電圧で電子放出し、基板上に高密度、且つ均一に分布し、長寿命なCNT集合体を備えた電子デバイスの提供。
効果 本技術に係るCNT集合体を備えた電子デバイスは、基板上に形成されたCNT集合体表面に弧状形状を有するCNTを高密度、且つ均一に分布させることで、低閾値電圧で電子放出することができるCNT電子放出源を提供する優れた効果を奏する。また、CNT集合体は、長寿命なCNT電子放出源を提供することができる。
技術概要
本技術では、電子放出源として適切な密度を有し、低閾値電圧で電子放出するような電子デバイスのCNTの構造について検討した。即ち、電子デバイスは、導電性の基板上に触媒粒子が形成された触媒層と、金属部材等の触媒粒子から成長したCNT集合体層とを有する。CNT集合体層は、触媒粒子から成長したCNTが密集するCNT密集層と、形成されたCNTの平均的な長さより基板の上方に位置し、CNT密集領層より延出する複数の弧状形状を有するCNTを含み、CNTの密度が低くなる弧状形状CNT含有層とに分類される。この弧状形状を有するCNTは、金属部材等の触媒粒子を介して延出し、無配向に成長している。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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