熱物性測定装置および熱伝導イメージング装置

開放特許情報番号
L2010003252
開放特許情報登録日
2010/5/28
最新更新日
2015/9/30

基本情報

出願番号 特願2010-005377
出願日 2010/1/14
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-145138
公開日 2011/7/28
登録番号 特許第5403618号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 熱物性測定装置および熱伝導イメージング装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 サーモリフレクタンス法、熱浸透率や熱拡散率の測定
目的 ある加熱位置を中心とした面内方向の熱拡散率を得ることができ、かつ加熱位置を中心とした熱の伝播のイメージそのものを高分解能かつ広範囲に亘って得ることが可能な熱物性測定装置の提供。
効果 本技術によれば、試料のある一点を加熱して試料内の温度分布が定常に達している状態を保ちつつ、測温レーザビームの照射位置を自由に変更することができ、加熱点を中心とした動径方向の熱拡散率の分布や加熱点からの熱の伝播の2次元的なイメージを得ることができる。さらに、2次元分布の測定できる範囲は2つの移動機構の動作範囲まで可能である。
技術概要
この技術は、試料表面を点加熱するための加熱レーザビームを発する加熱レーザと、試料表面に集光する測温レーザビームを発する測温レーザと、加熱レーザビームを試料表面の任意の場所に照射するための加熱レーザビーム移動機構と、測温レーザビームの試料表面からの反射光を検出する手段と、試料をXY動作させるための試料移動機構と、試料表面の反射率の温度依存性を用いて試料表面の温度変化を検出する手段と、加熱レーザビーム移動機構と試料移動機構との動作を制御する制御手段とを備えた熱物性測定装置であって、制御手段は、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査するように加熱レーザビーム移動機構及び試料移動機構を動作制御する。また、加熱レーザビーム移動機構と試料移動機構とは別々に配置されたXY移動機構からなり、制御機構は、両移動機構を連動して動作制御することにより、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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