薄膜部材の曲げ加工方法

開放特許情報番号
L2010003243
開放特許情報登録日
2010/5/28
最新更新日
2015/9/30

基本情報

出願番号 特願2010-000329
出願日 2010/1/5
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-140072
公開日 2011/7/21
登録番号 特許第5557185号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 薄膜部材の曲げ加工方法
技術分野 電気・電子、有機材料
機能 材料・素材の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 簡便な操作で実施でき、半導体集積回路構造、微小電気機械システム等の分野で広く利用される。
目的 必要なイオン照射量を低減し、かつ、必要な照射イオンのエネルギに大きなマージンを与える薄膜部材の曲げ加工方法を提供する。
効果 徒らな膜厚低減化処理は必要なく、機械的強度を保ちながら少ないイオン照射量で必要な曲げの程度を得ることができる。
技術概要
薄膜部材30にあって支持層20により一部の面積領域は支持されているが、支持層により支持されていない部分に、支持層から離れ、浮いた状態で先端自由端41に向かうように形成された所定平面形状の片持ち梁40があり、この片持ち梁を曲げ加工するに際し、少なくとも片持ち梁の部分は二層以上の複数の薄膜層31、32が厚味方向に上下に積層された積層構造とし、かつ、上下に隣接する薄膜層同士の材質は互いに異ならせることにより、薄膜部材の曲げ加工を行う。尚、片持ち梁を構成する複数の薄膜層の少なくとも一層以上は、片持ち梁の付け根から先端自由端に至る長さ方向に沿ってその厚味がスロープ状に変化する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT