スポットサイズ変換器

開放特許情報番号
L2010002053
開放特許情報登録日
2010/3/12
最新更新日
2015/9/30

基本情報

出願番号 特願2009-278294
出願日 2009/12/8
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-123094
公開日 2011/6/23
登録番号 特許第5083915号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 スポットサイズ変換器
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 シリコン導波路を導波する光のスポットサイズを変換して入出射端面において外部と光入出力を行う
目的 光の移行先としての第2の材料から成るコアの形成を不要にして、作製工程を単純化することができるスポットサイズ変換器の提供。
効果 光の移行先としての第2の材料から成るコアの形成が不要であり、作製工程が単純化される。変換器性能は、狭幅部の長さに依存しないため、実際の作製においては、端面の切り出し位置を任意に選ぶことができる。
技術概要
本技術のスポットサイズ変換器は、シリコン細線をコアとする導波路を導波する光のスポットサイズを変換して、入出射端面において外部と光入出力を行う。このスポットサイズ変換器は、基板上に形成した下部クラッドと、この下部クラッド上に形成されたシリコン細線からなる導波路コアと、このコアの上に積層される一種類のみの材料よりなる上部クラッドとを備える。シリコン導波路コアは、その幅がテーパー部で絞り込まれて、入出射端面とその近傍における狭幅部につながる形状にした。基板はシリコン基板であり、上部及び下部クラッドは二酸化ケイ素SiO↓2から形成することができる。シリコン導波路コアは、その断面形状として、薄板部分(スラブ)を底に残した構造を備えて、TE偏波のみを透過させる偏波フィルターとして機能させることができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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