イオンビーム発生装置

開放特許情報番号
L2010002022
開放特許情報登録日
2010/3/12
最新更新日
2015/9/30

基本情報

出願番号 特願2009-254721
出願日 2009/11/6
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-100632
公開日 2011/5/19
登録番号 特許第5126906号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 イオンビーム発生装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 二次イオン質量分析(SIMS)装置、鉄鋼や半導体などのナノテクノロジー計測技術、ライフサイエンス分野、イメージング質量分析
目的 イオン液体を含有する溶液をエレクトロスプレー用細管の先端からエレクトロスプレー法により気相中に放出させることを用いるイオンビーム発生装置において、エレクトロスプレー用導電性細管の先端から溶液が流れ出ることによる溶液の損失や溶液供給ラインへの空気の混入に起因するイオンビーム電流の不安定性を改善したイオンビーム発生装置の提供。
効果 この技術によれば、「イオン液体」を含有する溶液が、エレクトロスプレー用細管(キャピラリー)から無駄に流れ出ることがなくなるため、溶液の利用率が高まり、それにより、運転時間の長時間化も可能となる。また、溶液中への空気の混入がないため、エレクトロスプレー電流を安定に生成でき、結果として、イオンビームの安定性が向上する。更に、イオン源内部にある電極等の部材表面に付着したイオン液体に起因する電界の乱れが防止でき、イオンビームを安定に生成することが可能となる。
技術概要
この技術は、イオン液体を含有する溶液をエレクトロスプレー用細管の先端からエレクトロスプレー法により気相中に放出させてイオンビームを発生させるイオンビーム発生装置において、エレクトロスプレー用細管の上流部に開閉用バルブを設け、運転時以外においては開閉用バルブを閉じてイオン液体を含有する溶液の流れを遮断することにより、溶液の損失を抑制するとともに空気の混入を防止したイオンビーム発生装置を提供する。また、この技術では、エレクトロスプレー用細管近傍に温度調節機構を設け、運転時以外においては温度調節機構によりイオン液体を含有する溶液を凍結させて溶液の流れを遮断することにより、溶液の損失を抑制するとともに空気の混入を防止している。更に、この技術では、エレクトロスプレー用細管への溶液供給ラインに、空気抜き用のバイパスラインを設け、溶液への空気の混入時にバイパスラインから空気を抜くことにより、イオンビームの不安定性を抑制している。そして、エレクトロスプレー用細管として、電気化学的に不活性な炭素細管を用いている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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