清浄空気製造方法及び供給システム

開放特許情報番号
L2010001830
開放特許情報登録日
2010/3/12
最新更新日
2010/3/12

基本情報

出願番号 特願平11-216649
出願日 1999/7/30
出願人 高砂熱学工業株式会社
公開番号 特開2001-038137
公開日 2001/2/13
登録番号 特許第4334688号
特許権者 高砂熱学工業株式会社
発明の名称 清浄空気製造方法及び供給システム
技術分野 機械・加工、土木・建築
機能 加熱・冷却、洗浄・除去
適用製品 ガス状不純物・ケミカル汚染・分子汚染物質対策製品、ドライルーム、クリーンルーム
目的 空気中のガス状不純物を除去し、製品歩留まりを向上する。
効果 上記目的の達成
技術概要
 
ケミカルフリーのガスとしてドライガス、特に圧縮式に比べ安価なロータ方式によるガスを採用した発明で、次の2発明から主としてなる。 @回転式乾式除湿機を3段直列に接続し、前記3段直列の乾式減湿装置のうち,少なくとも2段目,3段目の乾式減湿装置におけるロータはシリカゲルを主体とし,アルミニウム,亜鉛を添加した金属珪酸塩を有することを特徴とする、有機ガス低減用の方法。 Aロータは、シリカゲル「または」金属珪酸塩を有し、再生区域と除湿区域の間にパージ区域設けたものを採用し、3段直列とする。1段目を出たドライエアを分流し、2段目のパージ区域から3段目の再生空気と合流させ2段目の再生空気として利用する。かつ、2段目を出たドライエアを分流し、3段目のパージ区域から3段目の再生区域に導くシステム(Aは「有機ガス」対応とは限っていない)。 これにより、@では有機ガス成分濃度1PPB以下のクリーンエアを生成でき、Aではガス不純物対策となるクリーンエアを安価な運転費で得られる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 高砂熱学工業株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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