水溶性NOxに対応可能な高度清浄装置

開放特許情報番号
L2010001824
開放特許情報登録日
2010/3/12
最新更新日
2010/3/12

基本情報

出願番号 特願平11-135824
出願日 1999/5/17
出願人 高砂熱学工業株式会社
公開番号 特開2000-334244
公開日 2000/12/5
登録番号 特許第4312878号
特許権者 高砂熱学工業株式会社
発明の名称 高度清浄装置
技術分野 土木・建築、機械・加工
機能 洗浄・除去
適用製品 ケミカル汚染対策製品、分子汚染物質対策製品、クリーンルーム機器、ガス不純物対策製品、乾式除去装置、電子部品生産設備
目的 ガス状不純物を除去し、製品歩留まりを向上させる
効果 上記目的の達成
技術概要
 
レンズ等の曇りの原因となる水溶性NOxの除去に関する発明。従来のケミカルフィルタは例えば、塩基性薬品を活性炭に添着したもので、水溶性NOxの除去性能が他の種類の酸性物質の除去性能と比較して悪く、長期使用していると除去できなくなり、逆に活性炭の触媒作用で濃度を高めてしまう欠点があった。 本発明は、クリーンルームの循環経路に次の構成の空気浄化フィルタを配置し、その下流側に粒子状不純物を除去するフィルタを配置した装置である。 空気浄化フィルタの要件: @酸化マンガンの粉末及び/又は過マンガン酸塩の粉末と,アルカリ金属炭酸塩の粉末及び/又はアルカリ土類金属炭酸塩の粉末を主材料とする。 A下記Cの無機物の粉末をバインダとし、この無機物は細孔径15〜300オングストロームの範囲の細孔の容積を0.3cc/g以上とする。 B上のBのバインダで@材料を支持体の表面に固着させて無機材料層を形成する。 C前記無機物は,シリカゲル,アルミナゲル,珪酸アルミニウム,活性アルミナ,セピオライト及び活性白土のうちから選択される少なくとも一つ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 高砂熱学工業株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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