電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡

開放特許情報番号
L2010001654
開放特許情報登録日
2010/3/5
最新更新日
2011/12/2

基本情報

出願番号 特願2006-513733
出願日 2005/5/20
出願人 国立大学法人北海道大学
公開番号 WO2005/114693
公開日 2005/12/1
登録番号 特許第4852758号
特許権者 国立大学法人北海道大学
発明の名称 電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 電子顕微鏡に適用する。
目的 位相回復法の原理を用いて構成される電子顕微鏡を提供する。
効果 高分解能化を実現できる電子顕微鏡が得られる。
技術概要
(A)平行な電子線を試料に照射する機能を有し、電子線110及び平行照射用のレンズ系120とからなる入射系100と、(B)試料を固定するとともに試料の環境を制御する機能を有し、サポート用スリット210及び試料220とからなる試料系200と、(C)試料220からの回折波の強度を計測する機能を有し、電気的にオンオフ可能な対物レンズ310、この対物レンズ310によって空間分解能が比較的低い像を得るコース検出器320、及び、対物レンズ310を用いることなく回折波の強度を用いて位相回復法によってより高い空間分解能を得るファイン検出器330とからなる検出系300と、(D)検出系300によって計測された回折波の強度をもとに位相回復法を用いて物体の像を再構成する、コンピュータ410からなる計算機系400と、を有し位相回復法における拘束条件として振幅に関するデータのみならず位相に関するデータをも用いる電子顕微鏡10にする(図)。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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