プローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びテスタ

開放特許情報番号
L2010001589
開放特許情報登録日
2010/3/5
最新更新日
2010/3/5

基本情報

出願番号 特願2001-058528
出願日 2001/3/2
出願人 北海道大学長
公開番号 特開2002-257507
公開日 2002/9/11
登録番号 特許第3527947号
特許権者 国立大学法人北海道大学
発明の名称 プローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びテスタ
技術分野 電気・電子、金属材料、無機材料
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 簡便な操作で得られ、磁性体表面の磁気構造を高い空間分解能で測定するプローブ顕微鏡等として広く利用される。
目的 歩留まり良く多量に製造することができる、高分解能のプローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びIC回路を提供する。
効果 磁気抵抗素子が連続する方向、例えば高さ方向の依存性を同時に測定することができ、かつ、高分解能の磁場高さ分布測定が可能となる。
技術概要
基板と、一端が基板に固定された可撓性のカンチレバー11と、そのカンチレバーの他端に配置された磁気抵抗素子6とを具え、カンチレバーの長手方向に垂直な方向における磁気抵抗素子の長さを、磁性体探針を接合することなく波長が10μm以下の漏洩磁場を検出することができるように10nmと1μmの間とした、プローブである。尚、磁気抵抗素子を、磁性体膜からなるAMR素子、磁性体と非磁性体の多層膜からなるGMR素子、又は磁性体−絶縁体−磁性体のトンネル接合からなるTMR素子とし、また、磁気抵抗素子に電気的に接続した抵抗ブリッジ回路を更に具える。また、試料表面からの漏洩磁場を定量的に測定するプローブを具える、顕微鏡を製作する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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