有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製方法と作製装置

開放特許情報番号
L2010001263
開放特許情報登録日
2010/2/19
最新更新日
2015/10/2

基本情報

出願番号 特願2000-265210
出願日 2000/9/1
出願人 独立行政法人 科学技術振興機構
公開番号 特開2002-075641
公開日 2002/3/15
登録番号 特許第3541294号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製方法と作製装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 発光素子等として用いられる有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製装置に適用する。
目的 特定の処理を行なった有機材料を基板上に積層する構造を有する有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製装置を提供する。
効果 優れた電気的光学的特性を有しながら熱安定性がよくない、気化しない、溶解性が低いという理由で薄膜用材料としては用いられなかった高分子材料、金属錯体を用いることができる有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製装置が可能になる。
技術概要
有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層またはキャリア輸送層の原料となる有機材料が溶媒中に溶解または分散している原料液の供給手段1と、搬送ガスの供給手段2、エアロゾルを形成する手段3、エアロゾルを加熱する手段4、エアロゾル加熱手段4の端部に設けられ基板5に対向する開口部4a、及び基板5を固定する基板ホルダー6を備え、原料液供給手段1及び搬送ガス供給手段2により原料液および搬送ガスがエアロゾル形成手段3に供給されてガス中に原料液が浮遊したエアロゾルが形成され、このエアロゾルがエアロゾル加熱手段4を通過してエアロゾル中の溶媒が気化されて有機材料の微粒子が生成し、有機材料の微粒子が開口部4aを通して基板ホルダー6に固定された基板5表面に吹き付けられる構造を有する有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製装置にする(図)。尚、エアロゾル形成手段3として噴霧器が使用される。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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