紫外近接場光学顕微鏡および先端増強ラマン分光顕微鏡法

開放特許情報番号
L2010000649
開放特許情報登録日
2010/1/22
最新更新日
2015/6/18

基本情報

出願番号 特願2009-141244
出願日 2009/6/12
出願人 独立行政法人理化学研究所
公開番号 特開2010-286397
公開日 2010/12/24
登録番号 特許第5246667号
特許権者 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 紫外近接場光学顕微鏡および先端増強ラマン分光顕微鏡法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 紫外近接場光学顕微鏡
目的 近接場光学顕微鏡を紫外領域にも適用可能とする。
効果 近接場光学顕微鏡を紫外領域にも適用することができる。
技術概要
紫外近接場光学顕微鏡の全体構成を、図1に示す。原子間力顕微鏡(AFM)用のカンチレバー101は、その先端に尖鋭化されたプローブ102を有する。このプローブ102がアルミニウムが蒸着されたプローブである。試料104の測定面に対して裏側に、開口数(NA)0.25の対物レンズ106を配置し、この対物レンズ106に、ビームエクスパンダー110により直径を広げられたレーザー光を入射することにより、試料104表面にレーザー光を集光させる。なお、この対物レンズはプローブで散乱されたラマン散乱光を検出するためにも使われるため、検出効率を上げるためにNAをなるべく大きくする方がよく、NA=1以上が好ましい。プローブ102と試料104表面間に働く原子間力をカンチレバー101の変位により検出し、原子間力が一定となるようにプローブ側に配置されたZ微動機構115によりプローブ102と試料104間の距離制御を行いながら、プローブ102をサンプル104表面のレーザー集光スポットに接触させる。図2は紫外近接場光学顕微鏡を用いて、アデニンナノ結晶のラマン散乱光強度を測定した結果(A:プローブ有り、B:プローブ無し)を示す。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 実施許諾の可否・条件に関する最新の情報は、(独)理化学研究所連携推進部 知財創出・活用課までお問合せ下さい。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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