| 出願番号 |
特願2009-196289 |
| 出願日 |
2009/8/27 |
| 出願人 |
独立行政法人理化学研究所 |
| 公開番号 |
特開2011-047786 |
| 公開日 |
2011/3/10 |
| 登録番号 |
特許第5429797号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人理化学研究所 |
| 発明の名称 |
位置敏感時間分析型検出器、その作製方法およびそれを用いた三次元中エネルギーイオン散乱装置 |
| 技術分野 |
電気・電子、情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
照射したイオンビームにより生じた散乱粒子を検出して物質の表面や界面を計測する際に用いる。 |
| 目的 |
検出された信号の時間情報に対する補正処理を必要としない位置敏感分析型検出器、その作製方法およびそれを用いた三次元中エネルギーイオン散乱装置の提供を目的とする。 |
| 効果 |
検出された信号の時間情報に対する補正処理を必要としない。 |
技術概要
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２組の一対の絶縁体のそれぞれにワイヤアノードを張設してワイヤアノード同士が互いに直交するように配置した際に、ワイヤアノードが絶縁体とそれぞれ当接する距離が同一となり、かつ、一方の一対の絶縁体に張設されたワイヤアノードにより形成される空間内に、他方の一対の絶縁体に張設されたワイヤアノードが配置可能なように、２組の一対の絶縁体を構成する。 |
| イメージ図 |
|
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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