マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器

開放特許情報番号
L2010000631
開放特許情報登録日
2010/1/22
最新更新日
2015/6/24

基本情報

出願番号 特願2009-286477
出願日 2009/12/17
出願人 独立行政法人理化学研究所
公開番号 特開2011-129362
公開日 2011/6/30
登録番号 特許第5582493号
特許権者 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器
技術分野 情報・通信、電気・電子、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、その他
適用製品 質量分析装置
目的 この発明は、マイクロチャネルプレートの検出位置によって検出効率が異なる性能を改善した装置を提供する。
効果 この発明によれば、マイクロチャネルプレート検出体のへの入射角度や入射位置によらず、マイクロチャネルプレート全面で検出効率を一様にすることができる。
技術概要
マイクロチャネルプレート(MCP)は、板状の絶縁性材料に多数の微細な貫通孔が設けられた構造を有する。個々のマイクロチャネルは、各々が微小な二次電子増倍管として機能し、電子やイオンがマイクロチャネルに入射してその壁面に衝突することにより電子が増幅される。しかし、MCPを用いた検出器では、散乱イオンを検出する場合、散乱イオンのMCPへの入射位置によってチャネル壁との衝突角が異なることにより、検出面上の位置に依存して検出効率が異なる問題があった。この発明の装置は、MCPを3枚用いた3段構成のMCP組立体を用いる。1段目のMCP81は電子の数を大きく増倍することを目的とせず、検出体を捕獲して2段目のMCP82に送り込むことを目的とする。1段目のMCP81のチャネルに衝突した検出体84,85は低い増倍率で二次電子に変換されて2段目のMCP82に入射し、チャネルに衝突しない検出体86は発散角が制限されて2段目のMCP82に入射する。これにより2段目のMCPのチャネル方向と検出体の進行方向が一致することを回避する。2段目及び3段目のMCPにより、MCP全面で十分に読み出し可能な電荷量まで二次電子数を増倍させる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 実施許諾の可否・条件に関する最新の情報は、(独)理化学研究所連携推進部 知財創出・活用課までお問合せ下さい。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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