プローブ針、カンチレバー及びそれらの製造方法

開放特許情報番号
L2010000622
開放特許情報登録日
2010/1/22
最新更新日
2010/1/22

基本情報

出願番号 特願2008-066777
出願日 2008/3/14
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2009-222528
公開日 2009/10/1
発明の名称 プローブ針、カンチレバー及びそれらの製造方法
技術分野 電気・電子、無機材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 プローブ針、カンチレバー
目的 高い分解能を有するAFM(原子間力顕微鏡)を実現し得るプローブ及びカンチレバーと、それらプローブ及びカンチレバーを簡易且つ確実に製造することが可能な製造方法とを提供する。
効果 このようなプローブ及びカンチレバーによれば、プローブの先端部が所定の高さだけ露出しているので、プローブやカンチレバーを交換することなく長期間にわたって高い分解能を維持するAFMを実現し得る。
技術概要
プローブ11を製造する場合、まず、シリコン基板30の腐食面で形成される溝31を形成し、溝31に窒化シリコン膜32を堆積する。続いて、窒化シリコン膜32上にフォトレジスト33を塗布し、溝31の底部にフォトレジスト33が残留するように露光及び現像する。続いて、フォトレジスト33で被覆された部分以外の窒化シリコン膜32を除去し、露出した溝31の上面に熱酸化処理を施して熱酸化膜34を形成する。続いて、フォトレジスト33で覆われている底部の窒化シリコン膜32を除去して溝31に金35を堆積し、その金35を熱酸化膜34で被覆する。そして最後に、シリコン基板30を除去する。結晶基板の腐食面の相対向する頂角は、結晶基板の腐食面の結晶壁によって定まる。結晶基板は立方晶または正方晶の結晶であって、腐食面の相対向する頂角は略70.6度である。結晶基板は六方晶の結晶であって、腐食面の結晶壁によって定まる相対向する頂角が結晶基板の腐食面の結晶壁によって定まる。プローブ針の製造方法により得られたプローブ針を板状の梁部の先端に設ける工程を含むカンチレバーの製造方法である。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 このようなプローブ及びカンチレバーの製造方法によれば、先端部分の導電性材料を一度も熱酸化膜で被覆することなくプローブを作製することができるので、プローブ及びカンチレバーを簡易且つ確実に製造できる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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