カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置

開放特許情報番号
L2010000620
開放特許情報登録日
2010/1/22
最新更新日
2013/10/29

基本情報

出願番号 特願2008-043304
出願日 2008/2/25
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2009-196873
公開日 2009/9/3
登録番号 特許第5335254号
特許権者 国立大学法人静岡大学
発明の名称 カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置
技術分野 有機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 カーボンナノチューブの製造装置
目的 簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造方法及び製造装置を提供する。
効果 簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができる。
技術概要
カーボンナノチューブの製造方法は少なくとも一部の表面が酸化ケイ素である平板状の基板と塩化鉄とが載置された管内を排気するステップと、管内を塩化鉄が昇華する所定温度に調整するステップと、所定温度に調整された管内に炭化水素のガスを供給し、化学気相成長法により基板上にカーボンナノチューブを垂直配向させるステップと、を含む。CVD装置10は電気炉12を備えており、電気炉12内には石英管14が通されており、この石英管14の周囲にはヒータ16、熱電対18が設けられている。石英管14の一方には、ガス供給部22が接続されており、石英管14の他方には圧力調整バルブ23及び排気部24が接続されている。ガス供給部22、圧力調整バルブ23及び排気部24は制御部20によって制御される。排気部24により石英管14内を真空排気し、ヒータ16により石英管14内を触媒26が昇華する温度に昇温させてから、ガス供給部22によりアセチレンガス30を石英管14に流入させる。これにより触媒26とアセチレンガス30とが気相反応し石英基板28上にカーボンナノチューブが垂直配向する。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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