光ビーム走査装置

開放特許情報番号
L2010000076
開放特許情報登録日
2010/1/8
最新更新日
2015/9/29

基本情報

出願番号 特願2009-222888
出願日 2009/9/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-070096
公開日 2011/4/7
登録番号 特許第4766353号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光ビーム走査装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 光ビーム、光スキャナ、光走査装置
目的 無研磨の金属板を使用して研磨後のソリを無くし、かつ、ミラー部の動的変形を押さえた光走査デバイスの提供。
効果 ミラー部及び捻れ梁部には基板と一体の無研磨金属板を用いるので、研磨によるソリが発生せず、かつ、ミラー部にSiミラーを貼り付けるので、ミラー部分の厚みが厚くなり動的変形を抑制できる。
技術概要
この技術では、基板本体及び基板本体の一側の両側部から突出する2つの片持ち梁部からなる基板と、2つの片持ち梁部間に捻れ梁部により両側を支持されるミラー部と、基板本体の一部に設けられ基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、基板本体のミラー部側と反対側の固定端部を支持部材に固定し、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板、捻り梁部、及び、ミラー部を一体の板材から形成し、ミラー部にSiミラーを貼り付け固定する。または、基板、捻り梁部、及び、ミラー部を一体の板材から形成し、小面積のミラー部に中間層を介して大面積のSiミラーを貼り付け固定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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