標準混合ガスリーク用微小孔フィルターの校正方法及び校正装置

開放特許情報番号
L2009006906
開放特許情報登録日
2009/12/4
最新更新日
2016/8/1

基本情報

出願番号 特願2009-197894
出願日 2009/8/28
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-047855
公開日 2011/3/10
登録番号 特許第5419082号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 標準混合ガスリーク用微小孔フィルターの校正方法及び校正装置
技術分野 無機材料、金属材料
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア
適用製品 標準混合ガスを真空容器に導入する際に用いる微小孔フィルターの校正方法及び校正装置として広く利用される。
目的 微小孔フィルターの分子流コンダクタンス、及び、分子流が実現されている圧力領域を校正するための校正方法及び装置を提供する。
効果 この校正方法及び校正装置を用いることにより、標準混合ガスリーク用微小孔フィルターを一個一個校正するための、校正方法及び校正装置が実現できる。また、分子流を生じさせるものであれば、この校正方法及び校正装置が適用できる。
技術概要
微小孔フィルターの上流に、標準混合ガス及び純ガスのガス導入系、容積輸送式真空ポンプ、上流圧力P↓u測定用隔膜真空計を配置し、微小孔フィルターの下流に、真空容器を配置し、真空容器には排気用高真空ポンプ、下流圧力P↓d測定用全圧真空計、下流圧力P↓d測定用分圧真空計を接続した微小孔フィルター校正装置において、微小孔フィルターを介して、真空容器に気体を導入した際、真空容器内部の圧力が、全圧真空計、分圧真空計の動作圧力範囲内にあるように、高真空ポンプの排気速度を選択して微小孔フィルターで分子流が実現されているかどうかを校正する、微小孔フィルター校正装置である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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