X線顕微鏡用試料支持部材、試料収容セル、X線顕微鏡、およびX線顕微鏡像の観察方法

開放特許情報番号
L2009006883
開放特許情報登録日
2009/12/4
最新更新日
2015/9/29

基本情報

出願番号 特願2009-190871
出願日 2009/8/20
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-007766
公開日 2011/1/13
登録番号 特許第5317120号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 X線顕微鏡用試料収容セル、X線顕微鏡、およびX線顕微鏡像の観察方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 X線顕微鏡像
目的 電子線やイオンビーム等の荷電粒子線を高い効率で「水の窓」領域を含む0.6〜6nmの波長領域の軟X線に変換すること及び荷電粒子線の試料内での拡散範囲を狭く抑えて荷電粒子線照射に起因する試料へのダメージを抑制することを可能とするX線顕微鏡用試料支持部材の提供。
効果 この技術のX線顕微鏡用試料支持部材には、荷電粒子線の照射により特性X線を放射する金属膜が設けられているため、電子線やイオンビーム等の荷電粒子線を高い効率で「水の窓」領域を含む0.6〜6nmの波長領域の軟X線に変換することが可能となる。これにより、荷電粒子線の試料内での拡散範囲を狭く抑えて荷電粒子線照射に起因する試料へのダメージを抑制することが可能となるとともに、SN比の高い画像を得ることも可能となる。
技術概要
この技術では、X線顕微鏡用試料支持部材は、試料を保持する支持膜の一方主面に、荷電粒子の照射により特性X線を放射する金属膜が設けてなるものとする。好ましくは、金属膜は、荷電粒子の照射により0.6〜6nmの波長領域の特性X線を放射する。金属膜は、例えば、アルミ、スカンジウム、チタン、バナジウム、クロム、コバルト、ニッケル、銅の何れかを主成分として含む膜である。好ましくは、金属膜の膜厚は200nm以下である。試料支持部材は、支持膜と金属膜との間に、低い荷電粒子透過率と高いX線透過率を有する第2の金属膜が設けられている態様としてもよい。第2の金属膜は、例えば、金、プラチナ、パラジウム、オスミウム、クロム、ニッケル、タングステン、鉛の何れかを主成分として含む膜である。また、支持膜は、例えば、窒化シリコン膜、カーボン膜、またはポリイミド膜の何れかである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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