高解像度対応超音波センサ

開放特許情報番号
L2009006532
開放特許情報登録日
2009/11/20
最新更新日
2015/10/26

基本情報

出願番号 特願2008-053239
出願日 2008/3/4
出願人 独立行政法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2009-210395
公開日 2009/9/17
登録番号 特許第4953177号
特許権者 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
発明の名称 高解像度対応超音波センサ
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 高解像度対応超音波センサ
目的 超音波受信センサとしてダイヤフラムを利用していながら、コンパクトかつ高解像度の超音波センサを提供する。
効果 光ダイヤフラム構造を持つ複数個の反射波受信センサを、圧電素子からなる超音波送信センサの周囲に、受信センサと一体に配置しているので、コンパクトで高解像度の超音波センサ要素及びそれを用いた超音波センサが得られる。
技術概要
図1は、超音波センサを用いた超音波測定装置を示す。送信センサ12から水中に存在する対象物16の形状を測定するときには、ステージコントローラ30からの制御信号によってXYステージ18を縦横の方向に移動させながら、超音波を送信センサ12から測定対象物16へ照射するとともに、対象物16から反射してくる反射波を受信センサ14の底面に設けられたダイヤフラム(図2及び図3)により受信し、反射波によるダイヤフラムの振動を耐熱ファイバすなわち光ファイバ20から与えられるレーザ光により非接触で検出する。超音波受信光学系50のレーザ光発信器から光スィッチ及び耐熱ファイバ20に与えられるレーザ光を耐熱ファイバ20の先端部からダイヤフラムへ入射させ、ここで反射された対象物の情報を含んだレーザ光を、耐熱ファイバ20を介して、超音波受信光学系50へ与える。そしてこの超音波受信光学系50において、レーザ光とダイヤフラムで反射したレーザ光とのドップラー時系列信号からダイヤフラムの時系列振動を得て、得られたダイヤフラムの時系列振動を超音波データ収集装置60において合成処理し、その結果得られた対象物の画像をモニタに表示する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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