一括転写型インクジェット用ノズルプレート

開放特許情報番号
L2009006210
開放特許情報登録日
2009/11/6
最新更新日
2009/11/6

基本情報

出願番号 特願2009-128368
出願日 2009/5/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-184366
公開日 2009/8/20
発明の名称 一括転写型インクジェット用ノズルプレート
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 パターンを一括して描画する一括転写型インクジェット用ノズルプレートに適用する。
目的 特定の寸法のノズル孔を配置してなる一括転写型インクジェット用ノズルプレートを提供する。
効果 目的とするパターンを効率的な一括転写ができ、また、制御機器を単純化できるので、インクジェットの構造を簡素化し、低コスト化が図れる一括転写型インクジェット用ノズルプレートが可能になる。
技術概要
内径が0.1〜100μmである微細ノズル孔を所定の間隔で複数有する一括転写型インクジェット用ノズルプレートにする。微細ノズル孔の間隔は、好ましくは50μm以下、特に10μm以下にし、しかも、複数の微細ノズル孔を目的のパターン配列とし、また、微細ノズル孔の内径は、好ましくは20μm以下とし、微細ノズル孔の深さを10μm〜100mmにする(図)。かくして、一括転写型インクジェット用ノズルプレートにより、電界を用いて微細流体(例えば、金属超微粒子ペースト、感光性硬化樹脂等)を基板(例えば、金属、シリコン基板)へ飛翔させ、微細液滴の速乾性を利用して高速固体化し、立体構造物を形成する微細インクジェット法が行なわれ、立体構造物の形成に用いられる微細液滴径は、好ましくは15μm以下、より好ましくは5μm以下、さらに好ましくは3μm以下、特に好ましくは1μm以下であって、吐出した液滴を、先行して付着した構造物の頂点に、確実に精度よく着弾することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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