プラズマ近傍およびプラズマ中でのガス分解率測定装置及び測定方法

開放特許情報番号
L2009005127
開放特許情報登録日
2009/9/11
最新更新日
2011/2/4

基本情報

出願番号 特願2009-145921
出願日 2009/6/19
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2011-002345
公開日 2011/1/6
発明の名称 プラズマ近傍およびプラズマ中でのガス分解率測定装置及び測定方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 プラズマ近傍およびプラズマ中でのガス分解率測定装置
目的 水晶振動子センサを装置内で移動することによって空間分布を測定し、その空間分布の形から実際には測定することが困難だが重要な情報であるプラズマ近傍及びプラズマ中でのガス分解率を求める技術を提供する。
効果 プラズマが存在する容器内を水晶振動子センサと絶対圧力計のみを用いて導入したガスの分解率を求めることができる。この測定では測定時に測定される気体を消費することなく、高速な測定が可能で、混合気体の圧力が大気圧以外の時でも、また圧力が変化しても常に測定することができる。さらに水晶振動子センサを装置内で移動して空間分布測定を行えば、その結果を指数関数でフィッティングし、プラズマ近傍及びプラズマ中の位置まで外挿することによって実際には測定が困難な、最も重要なこれらの場所におけるガス分解率を求めることができる。
技術概要
プラズマ発生前についてプラズマ装置の反応装置内に供給される供給ガスの物性値に依存する物性依存出力を測定するとともに、プラズマ発生後のプラズマ装置の反応装置内のガスの物性値に依存する物性依存出力を測定して、プラズマ発生前後における物性依存出力の変化を算出する装置と、前記物性依存出力の変化から供給ガスの分解率を求める装置とを備えたプラズマ装置の供給ガス分解率測定装置である。測定子を装置内で移動することにより得られる装置内のガス分解率の空間分布から、プラズマ近傍及びプラズマ中のガス分解率を求める。プラズマ発生前後における物性依存出力の変化を算出する装置は、水晶振動子センサと絶対圧力計を備えている。プラズマ装置の反応装置3内のガスの物性値(粘性及び分子量)に依存した量を測定できる水晶振動子センサ1及び絶対圧力計2及び温度計18による計測を行い、プラズマ発生させた時の水晶振動子センサ出力から圧力及び温度校正を行うことにより装置中のガス成分変化に依存する量を取得し、水晶振動子センサ校正値のプラズマの有無に対する変化量の空間分布の形状からプラズマ近傍及びプラズマ中でのガス分解率を求める。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 水晶振動子を含む圧電素子を用いる場合には、熱や光を照射しない測定法であるため、熱や光による刺激によって爆発の起こる反応性の高い混合気体でも安全に測定することができる。測定に際して特定の波長の紫外線ランプ等を必要とせず、メンテナンスが容易であり、更に気体組成の変化に対応して即時にその組成を測定することが可能となる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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