| 出願番号 |
特願2009-145921 |
| 出願日 |
2009/6/19 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2011-002345 |
| 公開日 |
2011/1/6 |
| 発明の名称 |
プラズマ近傍およびプラズマ中でのガス分解率測定装置及び測定方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
プラズマ近傍およびプラズマ中でのガス分解率測定装置 |
| 目的 |
水晶振動子センサを装置内で移動することによって空間分布を測定し、その空間分布の形から実際には測定することが困難だが重要な情報であるプラズマ近傍及びプラズマ中でのガス分解率を求める技術を提供する。 |
| 効果 |
プラズマが存在する容器内を水晶振動子センサと絶対圧力計のみを用いて導入したガスの分解率を求めることができる。この測定では測定時に測定される気体を消費することなく、高速な測定が可能で、混合気体の圧力が大気圧以外の時でも、また圧力が変化しても常に測定することができる。さらに水晶振動子センサを装置内で移動して空間分布測定を行えば、その結果を指数関数でフィッティングし、プラズマ近傍及びプラズマ中の位置まで外挿することによって実際には測定が困難な、最も重要なこれらの場所におけるガス分解率を求めることができる。 |
技術概要
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プラズマ発生前についてプラズマ装置の反応装置内に供給される供給ガスの物性値に依存する物性依存出力を測定するとともに、プラズマ発生後のプラズマ装置の反応装置内のガスの物性値に依存する物性依存出力を測定して、プラズマ発生前後における物性依存出力の変化を算出する装置と、前記物性依存出力の変化から供給ガスの分解率を求める装置とを備えたプラズマ装置の供給ガス分解率測定装置である。測定子を装置内で移動することにより得られる装置内のガス分解率の空間分布から、プラズマ近傍及びプラズマ中のガス分解率を求める。プラズマ発生前後における物性依存出力の変化を算出する装置は、水晶振動子センサと絶対圧力計を備えている。プラズマ装置の反応装置３内のガスの物性値（粘性及び分子量）に依存した量を測定できる水晶振動子センサ１及び絶対圧力計２及び温度計１８による計測を行い、プラズマ発生させた時の水晶振動子センサ出力から圧力及び温度校正を行うことにより装置中のガス成分変化に依存する量を取得し、水晶振動子センサ校正値のプラズマの有無に対する変化量の空間分布の形状からプラズマ近傍及びプラズマ中でのガス分解率を求める。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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