屈折率測定方法および屈折率測定装置

開放特許情報番号
L2009004475
開放特許情報登録日
2009/7/17
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2009-080118
出願日 2009/3/27
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-230574
公開日 2010/10/14
登録番号 特許第5177566号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 屈折率測定方法および屈折率測定装置
技術分野 その他
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 屈折率測定装置
目的 干渉計を用いて屈折率を測定する技術において、測定に用いる光源における波長の不確かさの影響を排除するための技術を提供する。
効果 第1の光の光路長の変化および第2の光の光路長の変化の測定を同じ光源を用いて行うため、光路長の変化の測定における上記光源の波長の影響をキャンセルし、また、必要であれば、任意に、波長既知の別の光源を用いて測定された光路長の変化と比較することにより、光源の波長を校正し、被測定試料の屈折率分散を介した屈折率測定の不確かさを低減し、測定に用いる光源における波長の不確かさの影響を低減して屈折率を正確に測定することができる。
技術概要
図1に示すように、屈折率測定装置100は、光源3と、光源3から出射する光の経路を規定する光学系(第1ビームスプリッタ4、ミラー6、第2ビームスプリッタ7、ミラー8および部分反射鏡30)と、光検出器51および52を備え、これらにより、マイケルソン干渉計31(第2光路長変化測定手段)およびマッハ・ツェンダー干渉計9(第1光路長変化測定手段)を構成する。そして、干渉計9および31内に配置した被測定プリズム1を特定方向に移動させて、光源3から出射して被測定プリズム1を通過する第1の光の光路長と、同じ光源3から出射して被測定プリズム1によって反射される第2の光の光路長とをそれぞれ変化させ、それらの変化を測定し、測定した、上記第1の光の光路長の変化と上記第2の光の光路長の変化との関係に基づいて、被測定プリズム1の屈折率を算出する。図2は他の例の屈折率測定装置の概略構成を示す模式図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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