ナノメートルスケールの計測標準試料およびナノメートルスケールの計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正方法

開放特許情報番号
L2009004408
開放特許情報登録日
2009/7/17
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2009-037517
出願日 2009/2/20
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-078582
公開日 2010/4/8
登録番号 特許第5071815号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 ナノメートルスケールの計測標準試料およびナノメートルスケールの計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正方法
技術分野 機械・加工、食品・バイオ
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 計測標準試料、計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正
目的 原子スケールで制御されて作製された3次元構造を持ち、その構造が大気中でも安定であり、かつSEMやSTMでも観察可能な導電性を持つ計測標準試料を提供すると共に、計測標準試料を使用した走査型顕微鏡(AFM、STM、SEM、SLM等)の校正方法の提供を目的とする。
効果 原子スケールで平坦な表面及びステップ構造を有する大気中でも安定な単結晶ダイヤモンド基板により構成されるので、ナノメートルスケールの計測標準試料として提供されて、走査型顕微鏡の校正において好適に使用される。
技術概要
主表面{111}面又は{111}面から10度以内のオフ角の単結晶ダイタモンド基板と、単結晶ダイタモンド基板上に形成された1ステップ高さ;0.206nmの原子的に平坦なテラス面をn段(n≧1の整数)有する三角形島構造体とを備え、三角形島構造体のテラス面のステップ段差を高さの標準とするナノメートルスケール計測を行うための計測標準資料として利用する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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