光ビーム走査装置

開放特許情報番号
L2009004403
開放特許情報登録日
2009/7/17
最新更新日
2018/1/8

基本情報

出願番号 特願2011-500594
出願日 2010/2/15
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2010/095587
公開日 2010/8/26
登録番号 特許第5240953号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光ビーム走査装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 スキャン、光スキャナ、捻れ梁(トーションバー)に支持された微小なミラーを揺動させて光ビームを偏光させる構成
目的 さらなる小型化を図り、とりわけ、基板本体の支持部材からの突出長さを短くすること、および、振動により装置から発生する騒音を低減して静音化を図ることができる光ビーム走査装置の提供。
効果 光走査装置は、基板本体及び片持ち梁部に複数の穴を設けることにより、基板本体の支持部材からの突出長さを短くすることができ、小型化が図れる。さらに、光走査装置は、基板本体及び片持ち梁部に複数の穴を設けることにより、基板本体の振動による騒音を低減することができ、静音化が図れる。また、穴形状、開口率等を工夫すれば、一層の静音化が図れる。
技術概要
本技術は、基板の振動を利用してミラー部に捻れ振動を生じさせることにより、簡単な構造で効率的にミラー部に捻れ振動を発生する光走査装置において、装置の小型化・静音化、ミラー部の振動振幅の調整を図り、基板本体と、基板本体の一側の両側部から突出した2つの片持ち梁部と、これら片持ち梁部間に捻れ梁部により両側を支持されるミラー部と、基板本体を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、基板本体のミラー部側と反対側の固定端部を支持部材に固定し、基板本体の一部に駆動源を設けるとともに、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板本体と片持ち梁部を合わせたフレーム部に複数の穴を設ける。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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