極端紫外光源および極端紫外光発生方法

開放特許情報番号
L2009004372
開放特許情報登録日
2009/7/10
最新更新日
2014/9/26

基本情報

出願番号 特願2009-141221
出願日 2009/6/12
出願人 国立大学法人 宮崎大学
公開番号 特開2010-287479
公開日 2010/12/24
登録番号 特許第5574470号
特許権者 国立大学法人 宮崎大学
発明の名称 極端紫外光源および極端紫外光発生方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 極端紫外光リソグラフィー光源、プラズマ化、極端紫外光を含むX線を発生させる技術、飛散粒子
目的 発光効率を高めるためには、例えば、レーザーを多重パルス化することで、プラズマ温度や密度を制御していたが、レーザーの多重パルス化の制御が必要となり、最適化等で比較的複雑な制御が必要となる問題があることに鑑み、プラズマ温度、密度を簡便に制御して、発光効率を高めることの実現。
効果 第1の元素と第2の元素との種類や含有割合を選択することで、プラズマ温度、密度を簡便にシフトさせることができ、発光効率を高めることができ、発光強度を向上させたり、連続的なスペクトル形状を得ることができる。
技術概要
この技術では、極端紫外光源は、レーザー光を照射するレーザー光源と、レーザー光源からのレーザー光が照射されて励起され、プラズマを生成して極端紫外光を放射するターゲット材であって、第1の元素と、波長200nm以下の領域において第1の元素のスペクトル分布のスペクトル強度が最も強いスペクトル成分を含み且つ最も強いスペクトル成分におけるスペクトル分布の波形の半値全幅よりも広い半値全幅のスペクトル分布を有する第2の元素と、を少なくとも含む多元系のターゲット材と、を備える。波長158nm(強度の最大値を有するピーク:最も強いスペクトル成分)や、波長170nmあたりに比較的鋭いピークを有する第1元素としてのカーボンのスペクトル分布に対して、第2元素としてのタングステンでは、カーボンのスペクトル分布の最大のピークの波長158nmを含む波長145nm〜200nm程度の範囲の波長域においてカーボンの最大スペクトル成分を含み、且つカーボンのスペクトル分布よりもなだらかなピーク、すなわち、ピークの半値全幅が広いスペクトル分布を有する。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT