表面変位測定システム及び表面変位測定方法

開放特許情報番号
L2009004338
開放特許情報登録日
2009/7/10
最新更新日
2009/7/10

基本情報

出願番号 特願2007-050432
出願日 2007/2/28
出願人 国立大学法人福井大学
公開番号 特開2008-215886
公開日 2008/9/18
発明の名称 表面変位測定システム及び表面変位測定方法
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 表面変位測定システム
目的 測定原理の異なる2つの測定系を備える表面変位測定システムにおいて、両測定系の測定点を一致させることで同一測定点における両光学系の同時測定を可能とし、かつ同一の測定点において両光学系の測定精度を向上させること、自己校正を行なうこと及びコストを低減することが可能な表面変位測定システムを提供する。
効果 測定原理の異なる2つの測定系を備える表面変位測定システムにおいて、同一測定点における両光学系の同時測定を可能とし、同一の測定点において両光学系の測定精度を向上させること、自己校正を行なうこと及びコストを低減することが可能な表面変位測定システムを提供することが可能となる。
技術概要
光を発生させる光源を備え、光源が発した光を物体の表面上の測定点に入射させ、反射させて生じた出射光の状態を測定して、測定点における表面の起伏の状態を示す局所的な表面変位を算出する第1及び第2表面変位測定系を備える表面変位測定システムである。第1表面変位測定系は、レンズの焦点と測定点とが一致している場合に、出射光を平行光線に変換する対物レンズを備え、対物レンズを通過した出射光の光量値から表面変位を算出すると共に、第2表面変位測定系は、出射光の出射角から測定点の局所的な傾斜角を測定して、表面変位を算出する、対物レンズの中心付近には、出射光を素通りさせるためのピンホールが設けてある。2光束測定系4Aは、レンズの焦点と測定点9とが一致している場合に、出射光を平行光線に変換するピンホール付き対物レンズ7Aを備え、ピンホール付き対物レンズ7Aを通過した出射光の光量値から表面変位を算出すると共に、総和法測定系5Aは、出射光の出射角から測定点9における局所的な傾斜角を測定して、表面変位を算出する、ピンホール付き対物レンズ7Aの中心付近には、出射光を素通りさせるためのピンホール8を設けている。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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