表面位置計測方法および表面位置計測装置

開放特許情報番号
L2009004166
開放特許情報登録日
2009/6/19
最新更新日
2012/1/20

基本情報

出願番号 特願2006-550729
出願日 2005/12/22
出願人 国立大学法人北海道大学
公開番号 WO2006/073068
公開日 2006/7/13
登録番号 特許第4876216号
特許権者 国立大学法人北海道大学
発明の名称 表面位置計測方法および表面位置計測装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 原子間力顕微鏡を用いた表面位置計測方法および表面位置計測装置
目的 カンチレバーの熱振動に関する量を検出し、検出したカンチレバーの熱振動に関する量の変化に基づいて、試料表面の位置を評価する事により、柔らかい表面の位置を正確に計測することの出来る表面位置計測方法を提供する。
効果 柔らかい表面の位置を正確に、低侵襲で、かつ高速(リアルタイム)に計測することができる。
技術概要
基板1に接着した単一細胞3の上からカンチレバー5を降ろして、フォースカーブ測定を行い、このときの、カンチレバー5のたわみ量と熱振動スペクトルの面積とを測定して、細胞表面の位置を評価する。カンチレバー5のたわみ量は、カンチレバー5の変位信号(デフレクション信号)として測定し、また、熱振動スペクトルの面積(スペクトル面積)は、デフレクション信号(カンチレバー5の変位信号)をFFT処理してパワースペクトル(熱振動スペクトル)とさせる。カンチレバーの探針と試料表面との間の距離を変化させながら、熱振動スペクトルを計測し、これから基本モード成分(スペクトル面積)を抽出して、距離に対する熱振動スペクトルの面積(スペクトル面積)の変化を計測する。この熱振動スペクトルを、所定範囲(共振周波数周辺)の面積をとって求める。カンチレバーの熱振動スペクトルの面積が変化し始める位置を、試料表面の位置として評価する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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