マイクロ波原子間力顕微鏡のマイクロ波導波プローブ

開放特許情報番号
L2009003850
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2011/6/3

基本情報

出願番号 特願2008-070592
出願日 2008/3/19
出願人 国立大学法人名古屋大学
公開番号 特開2008-241711
公開日 2008/10/9
発明の名称 マイクロ波原子間力顕微鏡のマイクロ波導波プローブ
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 近接場マイクロ波顕微鏡、原子間力顕微鏡
目的 マイクロ波原子間力顕微鏡の実現のため、化合物半導体を基板としたマイクロ波導波プローブの開発。
効果 本技術によれば、絶縁物である化合物半導体のカンチレバー部の上下両面に平行導波路を設け、その上下の平行導波路はカンチレバーの端部で接続されており、探針の先端を通るスリットの空隙を設けている。これにより、探針からマイクロ波が放射されるので、マイクロ波による計測ができる。
技術概要
この技術では、プローブは、カンチレバーの先の探針と試料との間に働く原子間力により、カンチレバー部分がたわむ。このたわみ量を、レーザから発生したレーザ光をプローブの背面に当て、反射してきたレーザ光を4分割のフォトダイオードで検出する。これを光てこ方式という。マイクロ波原子間力顕微鏡用のプローブは、試料に照射するためのマイクロ波の伝送を効率よく行うために、誘電体として絶縁性の優れた材料が必要になる。そこで、絶縁性の優れたプローブの素材として化合物半導体を用いている。例えばガリウム砒素(GaAs)を用いる。マイクロ波導波プローブは、カンチレバーを挟んで上下に金属の平行板線路で構成された伝送機構である導波路を持つ構造である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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