拡大投影光学装置

開放特許情報番号
L2009003842
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2009/5/29

基本情報

出願番号 特願2007-252219
出願日 2007/9/27
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2009-086020
公開日 2009/4/23
発明の名称 拡大投影光学装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 シュワルツシルド型光学系、X線顕微鏡システム
目的 構成が比較的簡単で、設計が容易であり、且つ試料周りを広く採ることのできる顕微鏡等に好適な拡大投影光学装置の提供。
効果 本技術によれば、光の使用波長に制限が無く、試料周りが桁違いに広い、比較的構成の簡単な拡大投影光学装置を提供することができる。
技術概要
この技術では、傾斜・位置調整装置は、何れも、照明光学装置から試料面に向かう光束、及び観察物体から発散して第1ミラーと第2ミラーの間で反射往復して観察物体像を2次元検出器の受像面に向かう光束を遮ることのないように構成する。光軸と第1ミラー、第2ミラーの球心合わせや、光軸に対する第1ミラー及び第2ミラーの傾きを補正するための、公知の構造の手動X−Y微動調整装置及びチルト調整装置を備える。そして、拡大投影光学装置の使用に当たっては、必要に応じ、傾斜・位置調整装置を用いて第1ミラー及び/又は第2ミラーの傾きや光軸調整を行った後、透明体ロッドの試料載置用ガラス板上に試料を載置固定して、窓より円筒体内の試料面の位置まで試料を挿入し、透明体ロッドの基部を試料ホルダに取り付ける。そして、例えば、2次元検出器に接続されたモニタを見ながら、試料ホルダの三次元ステージを操作して、試料を試料面に正確に合わせ、投影像の観察及び必要な記録を行なう。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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