波長選択素子及びその製造方法

開放特許情報番号
L2009003823
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2009/5/29

基本情報

出願番号 特願2007-188703
出願日 2007/7/19
出願人 国立大学法人東北大学、アイトリックス株式会社
公開番号 特開2009-025558
公開日 2009/2/5
発明の名称 波長選択素子及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 光計測・分析、光情報処理・表示、導波モード共鳴格子
目的 格子パターンが形成された金型やマスクでパターニングすることによる製造コストの大幅な低減、選択波長をオーダーメイド可能な波長選択素子の製造、樹脂材料の利用によるフレキシブルな波長選択素子の製作及び製造コストの大幅な低減、視野角の広い波長選択素子の製作、可視光領域での波長選択素子の提供。
効果 本技術によれば、EBLによるパターニング及びドライエッチングプロセスを省略でき、樹脂材料の使用により材料費の大幅な低減も可能となり、格子パターンが形成された金型やマスクでパターニングする技術を用いて安価に大量生産できる。
技術概要
導波モード共鳴格子(GMRG)は、屈折率の高い材料でサブ波長周期の格子を構築し、その前後を屈折率の低い材料で挟みこんだ構成を持つ。格子の周期は選択波長の真空中の長さより小さい。この技術では、格子層がグレーティングカプラとして働き、この下に位置する高屈折率で格子の無い層が導波層として働く。格子層と導波層は同じ材質で構成されている。導波層の伝搬モードは、導波層の屈折率を固定値とすると、主に厚みと波長の関数となり、厚みが厚くなる、あるいは導波層を伝搬する波長が短いとマルチモードになる。可視光領域の波長においては、導波層の厚みが500nm以下では導波層内部での光伝搬はシングルモードとなり、単一のピーク波長を有する波長選択フィルタとなる。一方、可視光領域外の波長においては、導波層の厚みが500nmを超えてもシングルモードとなる波長選択フィルタを製作することも可能である。ここで、導波層は基板側の屈折率よりも大きく、好ましくは、屈折率2.0以下の高屈折率樹脂、基板側を屈折率1.45以下の低屈折率樹脂の組み合わせを使用する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT