ナノ材料を曲げる方法およびナノ材料の作動装置

開放特許情報番号
L2009003814
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2013/4/16

基本情報

出願番号 特願2007-089548
出願日 2007/3/29
出願人 国立大学法人東北大学、国立大学法人秋田大学
公開番号 特開2008-246613
公開日 2008/10/16
登録番号 特許第5194252号
特許権者 国立大学法人東北大学、国立大学法人秋田大学
発明の名称 ナノ材料を曲げる方法およびナノ材料の作動装置
技術分野 電気・電子
機能 加熱・冷却
適用製品 ナノ材料の曲げ加工法およびナノ材料からなる超微小な作動装置
目的 ナノ材料からなる機能的微小構造体の創製の要請に対応しつつ、ワイヤ状あるいはシート状のナノ材料に対して曲げ加工を実現できるナノ材料を曲げる方法、およびこれを利用したナノ材料の作動装置の提供。
効果 ナノ材料からなる機能性微小構造体の構築の要請に対応しつつ、ワイヤ状あるいはシート状のナノ材料に対して曲げ加工を実現できるナノ材料を曲げる方法、およびこれを利用したナノ材料の作動装置を提供することができる。
技術概要
この技術では、スパッタリングなどの製膜技術を用いて、ナノワイヤの長軸方向に対して0度より大きい角度を持って異材の原子および粒子を飛翔させ、ナノワイヤ表面に堆積させる。これにより、異材の膜厚は、ナノワイヤの周方向で不均一となる。異材には、線膨張係数がナノワイヤと互いに異なる材料を使用する。また、製膜(堆積)時のナノワイヤ基板の温度は、温度制御技術等を用いて、製膜後の屈曲ナノワイヤの使用温度とは異なる温度に設定する。すなわち、製膜時および使用時の環境温度に有限の差をもたせる。異材の線膨張係数がナノワイヤに比べ小さく、かつ使用時の温度が製膜時の温度に比べ小さい場合、ナノワイヤが異材に比べ長軸方向に大きく熱収縮しようとするため、被覆ナノワイヤには、屈曲形状のように、異材の膜厚の大きい側を凸側として曲げ変形が発生する。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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