波長フィルター

開放特許情報番号
L2009003809
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2009/5/29

基本情報

出願番号 特願2007-079626
出願日 2007/3/26
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2008-241912
公開日 2008/10/9
発明の名称 波長フィルター
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 光画像計測、光ファイバー通信、レーザー分光
目的 バンドギャップが深く、遷移波長領域の幅が狭い波長フィルターの提供。
効果 本技術によれば、エッジフィルターとして用いた場合、短波長端もしくは長波長端で従来の平坦多層膜を大幅に超える急峻な遮断特性を示すので、高純度な光スペクトルの分離が可能である。又、本技術の波長フィルターは現在平坦多層膜型の波長フィルターが用いられているすべての産業分野において、広範囲に利用することができる。
技術概要
この技術では、膜材料として、例えば可視から近赤外の波長用にはNb↓2O↓5の層(屈折率約2.3)とSiO↓2の層(屈折率約1.5)の組み合わせを用いる。そして、3次元空間xyzにおいて基板の面をxyとし、z方向に多層膜構造とする。またy方向に伸びた溝の列を基板上に形成し、この上に自己クローニング法で膜を成膜することで波板状の多層膜とする。この場合屈折率の周期はxとzの2つの方向に設けられることになる。光はz軸に平行か、あるいは必要に応じz軸から傾いた方向から入射する。用いる波長λ↓0に対し、面内方向の周期、すなわち溝の間隔pはp≦λ↓0<3pを満たすように設定する。この範囲の中での最適値は膜厚、波板の斜面の角度、総層数や膜材料の屈折率などを決めた上で周期構造中の分散関係や膜の透過スペクトルを電磁界シミュレーションで設計することで求める。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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