3軸角度センサ

開放特許情報番号
L2009003792
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2012/3/2

基本情報

出願番号 特願2006-042380
出願日 2006/2/20
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2007-218842
公開日 2007/8/30
登録番号 特許第4910126号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 3軸角度センサ
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 精密工学分野、運動体の微小角度変位量計測
目的 X軸、Y軸及びZ軸回りの微小角度変位量の測定が可能で、小型化に適した3軸角度センサの提供。
効果 本技術によれば、3軸回りの角度変化を一括で測定できるために精密ステージの運動により生じる軸回りの微小な角度変化を検出でき、超精密加工機や半導体製造装置の加工精度向上に大きく貢献できる。
技術概要
この技術では、検出対象面の表面にはZ軸方向に伸びる格子パターンがY軸方向に多数並んだ1次元回折格子である1軸矩形格子が形成されている。1軸矩形格子にはレーザ光源からコリメートされた平行入射光がX軸方向から入力される構成であり、1軸矩形格子からは平行入射光により回折光反射成分の0次光、回折光反射成分の+1次光、−1次光および他の高次の回折光反射成分が反射される。次に、1軸矩形格子に入射光が投射されると回折光反射成分の0次光7↓O、+1次光7↓1、−1次光7↓2は対物レンズを通過し、各4分割PDの検出面にスポットを形成する。そして、各4分割PDによりビームスポットの挙動を観測することで、3軸回りの微小角度変化が検出される。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT