位置決め装置

開放特許情報番号
L2009003783
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2009/5/29

基本情報

出願番号 特願2005-276377
出願日 2005/9/22
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2007-085936
公開日 2007/4/5
発明の名称 位置決め装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 超精密工作機械
目的 多様な形状の対象物の位置決めを高精度に行うことができる位置決め装置の提供。
効果 本技術によれば、複数の光学系の焦点位置を互いに一致させてあるいは接近させて配置したので、それら各焦点位置を目指して対象物体を所定の方向から順次近づけていくと、各光学系の検出手段にて各々受光量の変化が検出される。それら検出手段にて検出された複数の受光量の変化を利用すると、対象物の位置変化に対する受光量の変化の割合を増大させる演算処理が容易となり、感度改善が可能となる。
技術概要
この技術では、一方の光学系と他方の光学系の焦点位置を互いに一致させてあるいは接近させて配置する。そして、各光学系の光軸上にて各レンズの位置を調整し、各焦点をともに所望の位置、即ちダイヤモンドの刃先を位置決めする位置に設定する。続いて、制御電圧をアクチュエータに加えて3軸アクチュエータをX軸方向に駆動する。そして、得られた各フォトダイオードの出力電流に対応する電圧V1、電圧V2を用いて演算回路に(V1―V2)/(V1+V2)の演算処理を行わせると、出力Vcが得られる。即ち、出力Vcは、X0の位置において0、その手前では正の値、その後方では負の値となり、しかもX0の位置において傾きが最大となる。従って、このような出力Vcの傾きが最大となる位置、あるいは出力Vcが0となる位置は、その他の位置に比べて高精度で検出できる。その位置をアクチュエータ制御回路で検出し、3軸アクチュエータ停止させると、ダイヤモンドの刃先は、X0の位置に正確に位置決めされる。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT